发布时间：2024-05-04 来源：网络
1.一种实时侦测系统，用于实时侦测研磨垫沟槽的状况以管控研磨垫寿命，其特征在于，所述实时侦测系统包括图像采集模块、数据处理模块和界面管理模块，所述图像采集模块用于实时获取所述研磨垫的图像信息，并将所述图像信息实时输入给所述数据处理模块；所述数据处理模块用于将获得的所述图像信息进行实时分析，以确认所述研磨垫是否到达寿命，并实时输出分析结果；所述界面管理模块用于实时显示所述分析结果，并在认定需要更换所述研磨垫时发出预警。
2.根据权利要求1所述的实时侦测系统，其特征在于，所述图像采集模块包括面阵式工业摄像机。
3.根据权利要求1所述的实时侦测系统，其特征在于，所述数据处理模块包括图像处理单元、特征提取单元和分析处理单元，所述图像处理单元用于将所述图像进行畸变校正和图像滤波处理；所述特征提取单元用于对畸变校正和图像滤波处理后的所述图像进行阈值分割，并从阈值分割后的所述图像中提取所述研磨垫沟槽的深度特征；所述分析处理单元用于对所述深度特征进行分析转换，以得到所述深度特征的量化值，进而确认所述研磨垫是否到达寿命并输出分析结果。
4.根据权利要求1所述的实时侦测系统，其特征在于，所述界面管理模块包括系统控制单元、实时显示单元和预警监测单元，所述系统控制单元用于对所述实时侦测系统进行参数调整和控制；所述实时显示单元用于实时显示所述分析结果；所述预警监测单元用于在认定需要更换所述研磨垫时报警发出预警。
5.一种实时侦测方法，用于实时侦测研磨垫沟槽的状况以管控研磨垫寿命，其特征在于，所述实时侦测方法包括：
步骤二，对所述图像进行实时分析，得到所述研磨垫沟槽的实时状况结果，通过对所述实时状况结果的实时判断确认所述研磨垫是否到达寿命，并实时输出分析结果。
6.根据权利要求5所述的实时侦测方法，其特征在于，所述步骤二包括：对所述图像进行畸变校正和图像滤波处理，并对畸变校正和图像滤波处理后的所述图像进行阈值分割以提取出所述研磨垫沟槽的深度特征；对提取后的深度特征进行算法分析，得到所述研磨垫沟槽的深度的量化结果；通过所述量化结果确认所述研磨垫是否到达寿命并输出分析结果。
7.根据权利要求6所述的实时侦测方法，其特征在于，所述对提取后的深度特征进行算法分析包括：通过灰度值方差检测算法对所述研磨垫的径向灰度值变化特征进行量化处理，以得到所述研磨垫沟槽的深度的变化趋势。
8.根据权利要求5所述的实时侦测方法，其特征在于，在所述步骤二之后所述实时侦测方法还包括：如分析结果显示所述研磨垫到达寿命，则进行报警；如分析结果显示所述研磨垫未到达寿命，则重复步骤一和步骤二。
9.根据权利要求5所述的实时侦测方法，其特征在于，在所述步骤二之前，所述实时侦测方法还包括：确认所述图像是否有效，如无效则进行报警，如有效则进行所述步骤二。
10.一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述化学机械抛光设备包括如权利要求1～4任一项所述的实时侦测系统。
本发明提供一种实时侦测系统，用于实时侦测研磨垫沟槽状况以管控研磨垫寿命，所述实时侦测系统包括图像采集模块、数据处理模块和界面管理模块。本发明还提供一种实时侦测方法，包括：实时采集所述研磨垫沟槽的图像；对所述图像进行实时分析，确认所述研磨垫是否到达寿命，实时输出分析结果。本发明还提供一种包括所述实时侦测系统的化学机械抛光设备。通过图像采集模块采集图像信息，并通过数据处理模块对图像进行分析处理，实时得出研磨垫是否达到寿命的结果，最后通过界面管理模块进行系统控制和状态显示，使得研磨垫寿命管控变得及时、可靠，同时减少了人力，解决了现有技术中研磨垫寿命管控缺乏即时性和可靠性且浪费人力的问题。冰球突破游戏网站在线玩
